講解三種光學(xué)精密平臺(tái)的技術(shù)指標(biāo)與特征區(qū)別

添加時(shí)間：2016-6-25 7:05:11 作者：浙江金科機(jī)械傳動(dòng)有限公司

普通光學(xué)精密平臺(tái)的技術(shù)指標(biāo) 
1、平面度：0.02mm／㎡-0.05mm／㎡ 
2、粗糙度：0.4-0.8um 
3、固有頻率：4Hz-6Hz 
4、振幅：0.1um-0.5um 
5、螺孔: M6 
6、螺孔矩陣：25×25 50×50 
7、高度：800mm 
8、規(guī)格：（見(jiàn)例表）

氣墊隔振光學(xué)精密平臺(tái)技術(shù)指標(biāo) 
1、平面度：0.02mm／㎡-0.05mm／㎡ 
2、粗糙度：0.4-0.8um 
3、固有頻率：1.1Hz-2.8Hz 
4、振幅：0.01um-0.1um 
5、螺孔: M6 
6、螺孔矩陣：25×25 50×50 
7、高度：800mm 
8、規(guī)格：（見(jiàn)例表）

自動(dòng)平衡光學(xué)精密平臺(tái)技術(shù)指標(biāo) 
1、平面度：0.02mm／㎡-0.05mm／㎡ 
2、粗糙度：0.4-0.8um 
3、固有頻率：1.1Hz-2.8Hz 
4、振幅：0.01um-0.1um 
5、螺孔: M6 
6、螺孔矩陣：25×25 50×50 
7、高度：800mm